光柵尺位移檢測究竟要怎么做?
更新時間:2021-06-21 點(diǎn)擊次數(shù):2853次
光柵尺根據(jù)莫爾條紋的物理形成原理工作,當(dāng)指示光柵上的線圖和直尺光柵上的線圖傾斜放置兩根尺時,兩根尺上的線不可避免地會相互交叉。在光源的照射下,黑線在交點(diǎn)附近的小區(qū)域重疊,所以遮光面積小,遮光效果弱。光的累積效應(yīng)使該區(qū)域成為亮帶。反之,在離交點(diǎn)較遠(yuǎn)的區(qū)域,兩個尺度的不透明黑線的重疊部分越來越少,不透明區(qū)域的面積逐漸變大,即陰影區(qū)域逐漸變大更大,使遮光效果更強(qiáng)。只有較少的光線可以通過光柵穿過該區(qū)域,導(dǎo)致該區(qū)域出現(xiàn)暗帶。這些線條幾乎垂直于光柵線條,交替出現(xiàn)的明暗條紋就是莫爾條紋。那么位移檢測究竟要怎么做?
1、光柵尺位移大小檢測
由于莫爾條紋的運(yùn)動對應(yīng)兩個光柵之間的相對運(yùn)動,通過檢測四個電壓信號的變化,可以做出相應(yīng)的檢測相對兩個尺之間的移動。周期的每一次變化,即莫爾條紋的每一次變化,表示兩個尺相對移動了一個光柵周期的距離;如果兩個尺之間的相對運(yùn)動小于一個光柵周期,則為余弦函數(shù)。該值還可以計算其相對移動的距離。
2、光柵尺位移方向檢測
如果標(biāo)尺光柵固定,則表示光柵正向運(yùn)動。此時,莫爾條紋相應(yīng)地向下移動。通過觀察窗A和B,光敏元件檢測到的光強(qiáng)變化過程并輸出相應(yīng)的電壓信號。在這種情況下,滯后相位是/2;反之,如果刻度光柵是固定的,則表示光柵向負(fù)方向移動。條紋相應(yīng)向上移動,通過觀察窗A和B,光敏元件檢測到的光強(qiáng)變化過程并輸出相應(yīng)的電壓信號,此時超前相位為/2。因此,根據(jù)兩個信號之間的超前和滯后關(guān)系,可以確定兩個尺之間的相對運(yùn)動方向。